http://ir-heater-system.com/pt/tags/mattson/ Recent content in Mattson on Advanced Infrared Heating Systems Hugo pt Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/pt/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/pt/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Substituição da lâmpada Mattson RTP"></p> <p>No piso de fabricação, um perfil de lâmpada que deriva não dispara alarmes. Aparece como um hotspot de 0,3°C na pastilha, um desvio lento na dimensão crítica e um fotoresiste que simplesmente não assa de forma uniforme. Quando a ferramenta Mattson RTP envelhece, a uniformidade térmica é a primeira a se comprometer. As lâmpadas de reposição que usamos são projetadas para corrigir essa deriva e colocar o controle do processo onde ele deve estar.</p> <p>O núcleo técnico disso é a precisão do aquecimento por infravermelho. Nós correspondemos a geometria da câmara Mattson com fontes de infravermelho de onda curta, atingindo uniformidade submilimétrica no plano da pastilha e perfis de temperatura repetíveis a cada ciclo. O arranjo de lâmpadas é calibrado para manter ±0,1°C na zona ativa, garantindo que as etapas de soft bake e hard bake respeitem o orçamento térmico exigido pela litografia.</p>