Tubo aquecedor de quartzo de onda média

Fri, 19 Jun 2026 02:27:54 +0800

Na linha de 300 mm, uma variação de 0,5°C durante o processo de secagem do fotoresistente não gera um alerta grave. Isso se manifesta como desvios na largura da linha, medidos por meio de equipamentos de medição. Além disso, isso leva ao desperdício de wafers. O orçamento térmico já é limitado, portanto o aquecedor não pode ser apenas uma fonte de calor – ele precisa funcionar também como um instrumento de medição.

O que é importante, tecnicamente: O quartzo de onda média oferece calor radiante rápido e estável, com alta absorção na faixa de temperatura necessária para a secagem do fotoresistente. Isso melhora o tempo de resposta e reduz o atraso térmico. Nosso tubo mantém uma uniformidade de ±0,1°C em toda a área quente, medida no plano do wafer – e não no suporte onde ele fica. A compatibilidade com ambientes limpos está integrada ao design: materiais compatíveis com as normas de Classe 1–100, baixo nível de emissão de gases e superfícies que não geram partículas. Isso permite obter perfis de secagem consistentes, sem pontos quentes ou desvios nas bordas.

Médio on Advanced Infrared Heating Systems

Tubo aquecedor de quartzo de onda média