http://ir-heater-system.com/pl/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo pl Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/pl/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/pl/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Wymiana lampy Mattson RTP"></p> <p>Na hali produkcyjnej, przesunięcie charakterystyki lampy nie generuje alarmów. Objawia się jako hotspot o <a href="https://goldisgood.com">warto</a>ści 0,3°C na powierzchni plastra, powolna zmiana wymiarów krytycznych oraz nierównomierne <a href="https://o-yate.net">wypiekanie</a> fotorezystu. Wraz ze starzeniem się narzędzia Mattson RTP, pierwszym parametrem, który ulega pogorszeniu, jest jednorodność termiczna. Zastępcze lampy, które stosujemy, są zaprojektowane tak, aby skorygować to przesunięcie i przywrócić kontrolę procesu tam, gdzie jest ona wymagana.</p> <p>Technicznym sercem rozwiązania jest precyzyjne podgrzewanie podczerwienią. Dopasowujemy geometrię komory Mattson do źródeł krótkofalowego promieniowania podczerwonego, osiągając jednorodność poniżej milimetra na płaszczyźnie plastra oraz powtarzalne profile <a href="https://henruite.com">temperatury</a> z cyklu na cykl. Matryca lamp jest skalibrowana, aby utrzymać ±0,1°C w aktywnej strefie, dzięki czemu etapy soft bake i hard bake mieszczą się w budżecie termicznym wymaganym przez litografię.</p>