
Dlaczego rezygnujemy z dużych pieców konwekcyjnych na rzecz technologii wykorzystującej promieniowanie podczerwone?
Bądźmy szczerzy: te stare piecyki konwekcyjne są jak dinozaury w świecie półprzewodników. Są dużymi, powolnymi urządzeniami, a ich obsługa sprawia sporo kłopotów. Dlatego tak wiele fabryk przechodzi na technologię wykorzystującą promieniowanie podczerwone. Nie chodzi tu tylko o spełnienie wymogów związanych z ekologią czy eliminację ołowiu – chodzi o to, aby proces był efektywniejszy.
W przypadku pieców konwekcyjnych trzeba ogrzać całe pomieszczenie pełne powietrza, aby ciepło dotarło do małej płytki krzemowej. To niewydajne. Natomiast technologia podczerwona jest inna – energia trafia bezpośrednio z źródła na substrat. Bez żadnego pośrednika, bez czekania, aż powietrze się nagrzeje.
Dzięki temu nie musimy korzystać z tych niebezpiecznych rozpuszczalników organicznych czy akceleratorów na bazie ołowiu, aby przyspieszyć proces. Ponadto rachunki za energię też maleją – o 30% do 50%.
Jeśli kiedykolwiek spędziłeś czas w pomieszczeniu o wysokiej czystości, wiesz, jak straszne są cząsteczki kurzu. Wentylatory o dużej mocy są niczym dmuchawy do kurzu. Natomiast grzejniki podczerwone działają bez ruchu powietrza, bez kontaminantów i bez dymu spalin. To prosty, cichy i efektywny proces.
Ale to nie jest magia. Musimy uwzględnić kilka istotnych faktorów.
Technologia podczerwona jest szybka – naprawdę szybka. Można osiągnąć wymaganą temperaturę w kilka sekund. Ale ta szybkość ma dwa oblicza. Jeśli płyta krzemowa nie znajduje się we właściwej pozycji albo intensywność promieniowania jest zbyt wysoka, powstaną „gorące punkty”. Jeden błąd może doprowadzić do uszkodzenia substratu. Trzeba więc uważać przy wyborze sterowników PID i czujników odległości.
Ale najlepsze jest to, że redukuje się ilość emisji dwutlenku węgla. Podczas procesu nie wytwarzają się gazów cieplarnianych, a zużycie energii jest minimalne. To prostszy sposób pracy.