http://ir-heater-system.com/nl/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo nl Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/nl/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/nl/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Vervanging van Mattson RTP lamp"></p> <p>Op de productievloer veroorzaakt een verschuivend <a href="https://o-yate.com">lampprofiel</a> geen alarmen. Het manifesteert zich als een hotspot van 0,3°C over de wafer, een langzame afwijking in kritische afmetingen en fotoresist dat niet egaal bakt. Wanneer de Mattson RTP-machine ouder <a href="https://o-yate.net">wordt</a>, is thermische uniformiteit het eerste dat afneemt. De vervangingslampen die wij leveren zijn ontworpen om die afwijking terug te <a href="https://goldisgood.com">brengen</a> en procescontrole te herstellen.</p> <p>De technische kern is precisie in infraroodverwarming. We passen de Mattson-kamergeometrie aan met kortgolvige infraroodbronnen, die submillimeter-uniformiteit over het wafervlak bereiken en reproduceerbare temperatuurprofielen leveren, herhaalbaar per run. Het lampenarray is gekalibreerd om ±0,1°C aan te houden over de actieve zone, zodat uw soft bake- en hard bake-stappen voldoen aan het thermische budget dat lithografie vereist.</p>