http://ir-heater-system.com/nl/tags/middelgroot/ Recent content in Middelgroot on Advanced Infrared Heating Systems Hugo nl Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/nl/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/nl/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Middengolfkwartskookbuis"></p> <p>Op de 300mm-lijn heeft een afwijking van 0,5°C tijdens het bakken van de photoresist geen grote gevolgen. Het leidt eerder tot afwijkingen in de dikte van de lijn die worden gemeten met behulp van metrische apparaten. Vervolgens leidt dit tot afvalwafer. Het thermische budget is al beperkt, dus de verwarmer kan niet zomaar fungeren als een eenvoudige warmtebron – hij moet zich gedragen als een meetinstrument.</p> <p><strong>Wat technisch belangrijk is:</strong> Middengolfkwarts zorgt voor snelle, stabiele stralingswarmte met sterke absorptie precies in het gebied waar de photoresist wordt gebakken. Hierdoor verbetert de respons-tijd en neemt de thermische vertraging af. Onze buis zorgt voor een uniformiteit van ±0,1°C over de hele hete zone, gemeten op het oppervlak van de wafer – niet op het substraat. De compatibiliteit met schone ruimtes is al van tevoren meegenomen in het ontwerp: materialen die voldoen aan de normen van klasse 1–100, minimale uitstoot van gassen, en oppervlakken die geen deeltjes produceren. Er zijn ook mogelijkheden om verschillende bakprocedures uit te <a href="https://o-yate.com">voeren</a>, zonder dat er hete plekken of oneffenheden optreden.</p>