Op de productieafdeling kan een verschil van een halve graad in de baktemperatuur ertoe leiden dat kritieke afmetingen veranderen met maar een paar nanometers – waardoor urenlang werk aan lithografie verloren gaat. De infraroodlampen voor het verwerken van grafen lossen dit probleem op. Ze vervangen conventionele verwarmers door snel en stabiel stralingsverwarmingsmateriaal, zodat de thermische omstandigheden binnen de gewenste grenzen blijven.
Wat technisch gezien belangrijk is
Wij hebben de grafen gebaseerde NIR-emitter ontworpen voor snelheid en herhaalbaarheid. Hierdoor reageert de emitter snel en voorspelbaar. Er wordt een uniformiteit van ±0,1°C bereikt over het hele oppervlak van de schijf. Het systeem werkt in zuiveringsruimtes van klasse 1–100, zonder dat er deeltjes of gassen vrijkomen. Hierdoor blijft het aantal defecten laag. De uitgangssterkte blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met een afwijking van minder dan 5%. Hierdoor krijgt elke schijf dezelfde energiedichtheid, batch na batch. Na het openen en sluiten van de deuren stabiliseert de lamp zich snel weer, zodat de parameters van het proces behouden blijven.
Waarom dit past bij het proces
Bij het verwerken van fotoresisten bepaalt de bakstap de spanning in het materiaal, de gevoeligheid en de randprofielen. Met deze lampen kan men beter controle uitoefenen op het proces, waardoor er minder herwerk nodig is en de uniformiteit van de producten verbetert. De snelle opwarming verkort de cyclusduur, zonder dat de nauwkeurigheid van het proces wordt beïnvloed. Bovendien verlaagt de efficiëntie de kosten per schijf. Het is een vervanging die voldoet aan internationale standaarden, zodat het rechtstreeks in bestaande lithografiesystemen kan worden gebruikt. Hierdoor hoeft u het hele proces niet opnieuw te kalibreren – u kunt uw procesparameters behouden en toch de productiewaarde verbeteren.
Dingen om in gedachten te houden
De uitgangssterkte van de lamp is gevoelig voor de schoonheid van het kwartsvenster en de vlakheid van de montage. Houd u aan de voorgeschreven torque en reinigingsprocedures om de uniformiteit van ±0,1°C te behouden. De emitter heeft een speciale, stabiele stroombron nodig, evenals een gekalibreerde pyrometer voor precisieloopregeling. Plan de interfacevereisten van tevoren. Eenmaal gealigneerd, kan het systeem 24/7 draaien, met regelmatige onderhoudstijdseenheden. Hierdoor blijft de ongeplande stilstand minimaal.