Tiub pemanas kuarsa gelombang sederhana

Fri, 19 Jun 2026 02:27:56 +0800

Pada garis pengeluaran 300mm, perubahan suhu sebanyak 0.5°C semasa proses pembakaran bahan fotoresist tidak akan menyebabkan amaran merah yang ketara. Perubahan ini akan terlihat sebagai perubahan lebar garis pada hasil pengukuran, dan akhirnya menyebabkan wafer menjadi tidak layak digunakan. Kekangan haba yang ada sudah cukup ketat, jadi pemanas tersebut bukan sekadar sumber haba semata-mata – ia juga perlu berfungsi sebagai alat pengukuran yang tepat.

Apa yang penting dari segi teknikalnya:
Kuarsa gelombang sederhana memberikan haba yang cepat dan stabil, dengan daya penyerapan yang tinggi dalam julat suhu yang diperlukan untuk proses pembakaran bahan fotoresist. Ini membolehkan masa tindak balas yang lebih cepat dan mengurangkan kelewatan haba. Tabung pemanas ini mampu mengekalkan keseragaman suhu sekitar ±0.1°C di seluruh kawasan panas, yang diukur pada permukaan wafer – bukan pada permukaan susceptor. Reka bentuk tabung ini juga memenuhi standard bilik bersih kelas 1–100, dengan kadar pelepasan gas yang rendah, serta permukaan yang tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Anda dapat mendapatkan profil pembakaran yang konsisten, tanpa adanya titik panas atau perbezaan suhu di bahagian tepi wafer.

Sederhana on Advanced Infrared Heating Systems

Tiub pemanas kuarsa gelombang sederhana