http://ir-heater-system.com/ms/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ms/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>On the fab floor, profil lampu yang drift tidak memicu amaran. Ia muncul sebagai hotspot 0.3°C di seluruh wafer, pergerakan perlahan dalam dimensi kritikal, dan photoresist yang tidak boleh bakar secara sekata. Apabila alat Mattson RTP mengalami penuaan, keseragaman terma adalah perkara pertama yang terjejas. Lampu gantian yang kami gunakan dibina untuk menarik kembali drift itu dan meletakkan kawalan proses di tempat yang sepatutnya.</p> <p>Jantung teknikalnya adalah ketepatan pemanasan inframerah. Kami menyamakan geometri ruang Mattson dengan sumber inframerah gelombang pendek, mencapai keseragaman sub-milimeter di seluruh pesawat wafer dan profil suhu yang boleh diulang dari satu larian ke larian berikutnya. Susunan lampu dikalibrasi untuk mengekalkan ±0.1°C di seluruh zon aktif, jadi langkah soft bake dan hard bake anda memenuhi bajet terma yang diperlukan oleh litografi.</p>