Hentikan penyebaran haba ke tempat yang tidak sepatutnya
Dalam proses pembuatan semikonduktor, haba yang berada di luar kawasan yang sepatutnya merupakan masalah besar. Sangat mudah difahami.
Apabila pengeluaran tenaga menggunakan pengeluhar inframerah berkuasa tinggi, haba tersebut tidak akan tertumpu pada wafer sahaja. Ia akan merebak ke arah belakang dan sisi, sehingga menjadikan bahagian dalam peralatan tersebut seperti “dapur”. Jika haba tersebut tidak dikawal, ia boleh menyebabkan operator terkena kebakaran, atau lebih teruk lagi, komponen peralatan boleh rosak akibat tekanan haba tersebut.
Itulah sebabnya kita menggunakan kap penutup berbahan seramik.
Memastikan haba hanya mengalir ke arah yang betul
Bayangkan lampu inframerah biasa sebagai mentol yang memancarkan tenaga ke semua arah. Namun, dalam proses pembuatan semikonduktor, kita hanya perlu tenaga yang ditujukan ke arah yang betul sahaja.
Kap penutup berbahan seramik berfungsi seperti dinding yang menghalang radiasi yang menuju ke arah yang salah, dan memastikan semua tenaga inframerah mengalir ke arah yang betul. Dengan cara ini, haba yang tidak diperlukan tidak akan meresap ke dalam struktur mesin. Suhu di bahagian dalam mesin akan tetap stabil. Anda dapat memastikan haba berada di tempat yang diperlukan, dan dinding mesin akan tetap sejuk.
Mengapa gunakan bahan alumina berkualiti tinggi?
Kita menggunakan bahan alumina berkualiti tinggi kerana bahan ini mampu menahan tekanan yang tinggi. Bahan ini melalui proses yang sangat sukar—suhunya naik dari suhu bilik hingga ratusan darjah Celsius dalam masa beberapa saat sahaja. Jika bahan yang digunakan murah, ia akan retak atau pecah. Selain itu, bahan seramik ini juga mampu menahan gas kimia yang wujud di bilik bersih tanpa mengalami kerosakan. Yang penting adalah memastikan kesesuaian mekanikal yang baik antara bahan tersebut dengan komponen mesin. Jika ada celah, radiasi akan meresap keluar, dan segala usaha akan sia-sia.
Perkara yang perlu diambil kira
Perlu diingat bahawa penggunaan kap penutup ini akan mengubah cara lampu berfungsi. Oleh kerana haba dicegah daripada keluar dari belakang, suhu filamen akan meningkat. Anda tidak boleh sekadar memasang kap penutup tersebut tanpa memeriksa sistem penyejukan mesin. Jika aliran udara tidak seimbang, filamen akan cepat rosak. Pastikan tetapan kuasa sesuai dengan ketumpatan haba yang dihasilkan oleh kap penutup tersebut, agar anda dapat mengelakkan masalah haba yang berlebihan.