http://ir-heater-system.com/ko/tags/%ED%8C%8C%EB%8F%84/ Recent content in 파도 on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ko Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/ko/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/ko/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="중파 석영 히터 튜브"></p> <p>300mm 공정에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C 정도의 온도 변동이 발생해도 큰 경고 신호로 나타나지 않습니다. 대신, 측정 시 선의 폭에 변화가 생기고, 그 결과 불량 웨이퍼가 발생하게 됩니다. 열 관리가 이미 매우 중요하기 때문에, 히터는 단순한 열원으로만 작동해서는 안 되며, 측정 도구로서의 기능도 가져야 합니다.</p>