http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E9%8B%BC/ Recent content in 鋼 on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Wed, 29 Jul 2026 03:57:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-stainless-steel-ir-housing-design/ Wed, 29 Jul 2026 03:57:39 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/preventing-wafer-contamination-via-stainless-steel-ir-housing-design/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ステンレス鋼製ヒーターハウジング製造"></p> <p>高負荷なウェーハ処理におけるランプの故障対策<br> 半導体製造において、赤外線ランプを限界まで使うと、問題が<a href="https://o-yate.net">発生</a>することがあります。もし石英管が圧力に耐えきれず破裂してしまったら、単にランプが壊れて工程が停止するだけでは済みません。ガラスの破片やタングステンフィラメントが直接ウェーハに降り注ぐことになります。これは本当に悪夢のような状況です。一度でも破損が起きると、大量のウェーハが汚染されてしまい、その日の歩留まりが台無しになってしまいます。</p> <h2 id="簡単な解決策安全カバーの使用">簡単な解決策：安全カバーの使用</h2> <p>このような問題を防ぐ方法を考案しました。赤外線ランプを外に置く代わりに、特別に作られたステンレス製のカバーに収めるのです。これはまさに「安全ケージ」と言えます。もしランプが熱によって破損したり爆発したりしても、カバーがその破片を受け止めてくれます。そうすればウェーハは汚れることがありません。とてもシンプルです。</p>