http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E3%83%92%E3%83%BC%E3%83%86%E3%82%A3%E3%83%B3%E3%82%B0/ Recent content in ヒーティング on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/thermal-analyzer-heating-lamp/ Tue, 30 Jun 2026 01:47:43 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/thermal-analyzer-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="熱分析装置用加熱ランプ"></p> <p>リソグラフィーの工程において、ソフトベイクやハードベイクの際に1°C程度の温度変動が生じると、それは単なる<a href="https://o-yate.com">理論上</a>の問題に留まりません。実際には、線幅のばらつきや表面の汚れ、歩留まりの低下といった問題が発生します。すでに熱管理は厳しい状況にあり、オーブンやホットプレートでは、フォトレジストが適切なガラス転移温度範囲を外れるような温度変動を許容することはできません。</p> <h3 id="技術的に重要な点">技術的に重要な点</h3> <p>私たちが開発した熱分析装置用の加熱ランプは、石英製のケース内に短波長赤外線ハロゲン光源を内蔵しており、一般的なフォトレジストの吸収特性に合わせて調整されています。ウェーハ全体での温度均一性は±0.1°C以内に保たれ、設定値の再現性も高く、熱履歴が一定に保たれます。 このランプは、クリーンルームの等級1～100の環境下でも使用可能で、粒子数の増加もありません。また、低ガス放出型の構造とSEMIS2規格に準拠した層流型のケースを採用しているため、出力も安定しています。5,000時間以上使用しても強度の変化は5％未満であり、毎回同じ熱処理効果が得られます。</p>