http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E3%82%BE%E3%83%BC%E3%83%B3%E5%8C%96%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%9F/ Recent content in ゾーン化された on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Wed, 03 Jun 2026 01:35:17 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 03 Jun 2026 01:35:17 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="先進的なウェーハファブ向けゾーン加熱"></p> <p>Fabフロアでは、ベーク温度の半度のドリフトだけでロット全体を廃棄することになる。フォトレジストのプロファイルの変化を監視し、計測でクリティカルディメンションのバイアスが現れ、歩留まりの低下がシフトレポートに反映されるのを目の当たりにする。</p>