センサー on Advanced Infrared Heating Systems

ウェーハ加工ツール用温度センサー

Tue, 28 Jul 2026 02:43:23 +0800

なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか）実は、ウエハー製造においては、ごくわずかな電気的漏れがあっただけで、大量のシリコンが廃棄されたり、システム全体が故障したりしてしまいます。これは誰も望まない恐怖です。そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。10個中1個だけをテストして、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。スプレッドシート上では1％の不良率は小さな数字に見えますが、高電圧を使用する工業用ヒーターの場合、1％というのはかなり高い数値です。 私たちは、出荷されるすべてのランプや加熱要素をテストします。例外はありません。

水素センサー製造用ヒーター

Sat, 25 Jul 2026 02:31:46 +0800

水素センサーのヒーターが本当に正常に動作しているかを確認する方法
水素センサーを製造する際、熱管理は非常に重要です。しかし問題は、ヒーター要素にわずかな電気漏れがあっても、一括して製造されたセンサー全体が破壊されてしまったり、最悪の場合は安全装置が作動してしまうことです。これは避けたい悪夢です。

MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター

Fri, 17 Jul 2026 02:06:47 +0800

もう、ヒーターがMEMSの歩留まりを悪化させるのを許してはいけません。
クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、製品が台無しになるという恐怖をご存知でしょう。あらゆることを正しく行っていても、安価なヒーターから出る微細な破片やガスがMEMSセンサーワイファーに付着してしまいます。そうなると、歩留まりが急激に下がってしまいます。
本当にイライラしますよね。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英製のIRランプを使用するようにしました。抵抗式ヒーターやガスを発生させるランプとは異なり、放射熱のみを利用します。物理的な接触もなく、空気の流れによるほこりの発生もありません。とても清潔で、素早く乾燥します。

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Thu, 09 Jul 2026 14:46:41 +0800

スマートな赤外線ヒーター：ウェーハにできるだけ多くの熱を届ける
半導体パッケージング用のスマートな赤外線加熱システムを設計する際、私たちが最も重視するのは、ウェーハ表面にできるだけ多くの有効な熱を届けることです。大きな課題は、入力された電力をどうやって実際の熱に変換するかということです。
答えは、私たちの金メッキ処理された反射板技術です。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Thu, 09 Jul 2026 14:39:59 +0800

高精度赤外線加熱ランプ：実感できる安全性
ウェーハ処理装置を稼働させる際、電気的な信頼性は「便利なもの」ではありません。それは不可欠な要素です。
そのため、当社では、すべての高精度赤外線加熱ランプを出荷する前に、絶縁耐力や絶縁抵抗のテストを徹底的に行っています。手を抜くことはありません。サンプル検査も行いません。単純に、そのランプが装置が要求する電気的安全基準を満たしているかを一つ一つ確認するのです。