http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E3%82%AF%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%84/ Recent content in クォーツ on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/medium-wave-quartz-heater-tube/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="中波石英ヒーターチューブ"></p> <p>300mmリソグラフィーでは、フォトレジストの焼成時に0.5℃のずれが生じても、大きな警告が表示されることはありません。代わりに、<a href="https://goldisgood.com">計測結果</a>として線幅の変動が現れ、最終的には不良ウェーハが発生します。熱管理の範囲はすでに限られているため、ヒーターは単なる熱源として機能するだけでなく、計測ツールとしても機能しなければなりません。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 中波石英を使用することで、迅速で安定した放射熱が得られ、レジストの焼成帯域での吸収率も高くなります。その結果、応答時間が短縮され、熱遅延も減少します。当社のヒーターは、ウェーハ面で±0.1℃の均一性を保ちます。クリーンルーム適合性も考慮されており、クラス1～100に適合する材料を使用し、ガス放出量が少なく、粒子を発生させない表面処理が施されています。また、ハードバーンやソフトバーンといった再現性の高い焼成プロファイルが得られ、ホットスポットや端渦の問題もありません。</p>