http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F/ Recent content in ウェーハ on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Tue, 28 Jul 2026 02:43:23 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/ensuring-electrical-integrity-in-wafer-tool-heating-elements-through-100-hipot-testing/ Tue, 28 Jul 2026 02:43:23 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/ensuring-electrical-integrity-in-wafer-tool-heating-elements-through-100-hipot-testing/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="ウェーハ加工ツール用温度センサー"></p> <p>なぜ、すべてのランプをテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） 実は、ウエハー製造においては、ごくわずかな電気的漏れがあっただけで、大量のシリコンが廃棄されたり、システム全体が故障したりしてしまいます。これは誰も望まない恐怖です。 そのため、私たちは「バッチサンプリング」を行いません。10個中1個だけをテストして、運が良ければ大丈夫というわけにはいきません。スプレッドシート上では1％の不良率は小さな数字に見えますが、高電圧を使用する工業用ヒーターの場合、1％というのはかなり高い数値です。 <strong>私たちは、出荷されるすべてのランプや加熱要素をテストします。例外はありません。</strong></p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Tue, 21 Jul 2026 02:20:46 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="ウェーハ硬化ランプ用反射器"></p> <p>ウェーハの硬化処理において、適切な赤外線反射器を選ぶことが重要です。ウェーハを硬化させる際、重要なのはどのようにして熱を制御するかという点です。多くの人々は、単に出力を上げればいいと考えますが、それは無駄な行為です。私たちは代わりに反射器に焦点を当てます。これこそが、赤外線エネルギーが実際にウェーハに作用し、部屋全体が温められるのを防ぐための鍵です。</p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ Mon, 20 Jul 2026 09:15:18 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/safety-distance-for-wafer-heating/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ加熱時の安全距離"></p> <p>IR加熱と熱風加熱：ウェーハ処理においてなぜ切り替えが重要か<br> もし、深層加工において熱風循環方式をIR加熱に置き換えようと考えているのであれば、単に新しいヒーターを選ぶだけではありません。実際には、すべての処理を遅らせる原因となる「熱伝達の遅れ」という問題を解消することになります。</p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ Fri, 17 Jul 2026 02:06:47 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/mems-sensor-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="MEMSセンサーワーフ乾燥ヒーター"></p> <p>もう、ヒーターがMEMSの歩留まりを悪化させるのを許してはいけません。<br> クラス100のクリーンルームで作業を行っているなら、製品が台無しになるという恐怖をご存知でしょう。あらゆることを正しく行っていても、安価なヒーターから出る微細な破片やガスがMEMSセンサーワイファーに付着してしまいます。そうなると、歩留まりが急激に下がってしまいます。<br> 本当にイライラしますよね。<br> だからこそ、私たちは<a href="https://goldisgood.com">高純度</a>の合成石英製のIRランプを使用するようにしました。抵抗式ヒーターやガスを<a href="https://o-yate.net">発生</a>させるランプとは異なり、放射熱のみを利用します。物理的な接触もなく、空気の流れによるほこりの発生もありません。とても清潔で、素早く乾燥します。</p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/energy-efficient-wafer-heater/ Wed, 15 Jul 2026 10:35:42 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/energy-efficient-wafer-heater/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="省エネ型ウェーハヒーター"></p> <p>スマートファブで効果的な温度管理を実現するために<br> もしインダストリー4.0の環境を構築しようとしているのであれば、自動化だけでは不十分だということに気づいているはずです。本当の問題は、熱エネルギーの管理です。</p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ Thu, 09 Jul 2026 14:39:59 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/precision-ir-sensor-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ウェーハ用高精度IRセンサー"></p> <p>高精度赤外線加熱ランプ：実感できる安全性<br> ウェーハ処理装置を稼働させる際、電気的な信頼性は「便利なもの」ではありません。それは不可欠な要素です。<br> そのため、当社では、すべての高精度赤外線加熱ランプを出荷する前に、絶縁耐力や絶縁抵抗のテストを徹底的に行っています。手を抜くことはありません。サンプル検査も行いません。単純に、そのランプが装置が要求する電気的安全基準を満たしているかを一つ一つ確認するのです。</p> http://ir-heater-system.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ Wed, 03 Jun 2026 01:35:17 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/zoned-heating-for-advanced-wafer-fab/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="先進的なウェーハファブ向けゾーン加熱"></p> <p>Fabフロアでは、ベーク温度の半度のドリフトだけでロット全体を廃棄することになる。フォトレジストのプロファイルの変化を監視し、計測でクリティカルディメンションのバイアスが現れ、歩留まりの低下がシフトレポートに反映されるのを目の当たりにする。</p>