http://ir-heater-system.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%BC%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェーハー on Advanced Infrared Heating Systems Hugo ja Sun, 31 May 2026 02:38:08 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ Sun, 31 May 2026 02:38:08 +0800 http://ir-heater-system.com/ja/posts/wholesale-wafer-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="業務用ウェハー乾燥ランプ"></p> <p>スピンリンスドライヤーから出てくるウェハーは濡れた状態で、表面張力が微細構造に作用している。続く熱処理ステップでわずかでも<a href="https://o-yate.com">誤差</a>が生じると、フォトレジストのプロファイルが変動し、エッジビードが残留し、次のリソグラフィのオーバーレイターゲットがずれる。これは仮説ではなく、歩留まりの漏れであり、廃棄ウェハーとして数えられる損失である。</p> <p>ウェハー乾燥用ランプは単なる熱源ではない。ウェハー前処理の熱予算における最後かつ決定的なステップであり、フォトレジストのソフトベークおよびハードベークの挙動を直接的に決定する。乾燥ランプを仕様決定する際には、実際には再現性を購入していると言ってよい。すなわち、シフトごとに、ウェハーごとに同じ温度プロファイルを確実に達成することである。</p>