http://ir-heater-system.com/it/tags/mattson/ Recent content in Mattson on Advanced Infrared Heating Systems Hugo it Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/it/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/it/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Sostituzione della lampada Mattson RTP"></p> <p>Sulla linea di produzione, un profilo di lampada che deriva non genera allarmi. Si manifesta come un hotspot di 0,3°C su tutto il wafer, una lenta variazione nelle dimensioni critiche e un photoresist che non si cuoce in modo uniforme. Quando lo strumento Mattson RTP invecchia, la prima cosa a peggiorare è l’uniformità termica. Le lampade di ricambio che utilizziamo sono progettate per correggere questa deriva e riportare il <a href="https://henruite.com">controllo</a> del <a href="https://o-yate.net">processo</a> dove deve stare.</p> <p>Il cuore tecnico è la precisione del riscaldamento a infrarossi. Abbiniamo la geometria della camera Mattson con sorgenti a infrarossi a onde corte, raggiungendo uniformità sub-millimetrica sul piano del wafer e profili di temperatura ripetibili ciclo dopo ciclo. L’array di lampade è calibrato per mantenere ±0,1°C sull’area attiva, così le fasi di soft bake e hard bake rispettano il budget termico richiesto dalla litografia.</p>