Tubo riscaldante al quarzo a onde medie

Fri, 19 Jun 2026 02:27:55 +0800

Nella linea da 300 mm, una variazione di temperatura di 0,5°C durante il processo di essiccazione del fotorestruttore non provoca allarmi significativi. Tuttavia, tale variazione si manifesta come deviazioni nella larghezza della linea, rilevabili tramite strumenti di misurazione; in seguito, queste deviazioni portano alla produzione di wafer difettosi. Il budget termico è già molto limitato, quindi il riscaldatore non può semplicemente funzionare come fonte di calore: deve invece comportarsi come uno strumento di misurazione.

Cosa è importante dal punto di vista tecnico
Il quarzo a onde medie fornisce un calore radiale rapido e stabile, con un’elevata capacità di assorbimento proprio nella fascia di frequenza utilizzata per l’essiccazione del fotorestruttore. Questo permette di ridurre i tempi di risposta e di diminuire i ritardi termici. Il nostro riscaldatore garantisce un’omogeneità della temperatura di ±0,1°C nell’intera zona di riscaldamento, misurata sul piano del wafer, non sul supporto su cui il wafer viene posizionato. La compatibilità con le camere pulite è garantita grazie all’uso di materiali conformi alle norme Class 1–100, con basso livello di emissione di gas e superfici che non generano particelle. È possibile ottenere profili di essiccazione ripetibili, sia per processi di essiccazione “leggeri” che “intensivi”, senza problemi legati a zone surriscaldate o disomogeneità nella distribuzione del calore.

Cuarzo on Advanced Infrared Heating Systems

Tubo riscaldante al quarzo a onde medie