Lampada per asciugatura wafer all ingrosso

Sun, 31 May 2026 02:38:08 +0800

Fuori dall’asciugatrice a centrifuga, il wafer esce ancora bagnato, e la tensione superficiale agisce già su quelle caratteristiche microscopiche. Se il passaggio termico successivo è anche solo leggermente impreciso, si osserva una deriva del profilo del photoresist, la persistenza del bordo rialzato e un mancato allineamento nell’overlay della litografia successiva. Non è un’ipotesi: si traduce in scarti di wafer e perdita di resa.

Le lampade per l’asciugatura dei wafer non sono solo fonti di calore. Rappresentano l’ultimo, decisivo step nel bilancio termico della preparazione del wafer e determinano direttamente il comportamento del photoresist durante soft bake e hard bake. Quando si specifica una lampada di asciugatura, si acquista in realtà ripetibilità: raggiungere lo stesso profilo termico, wafer dopo wafer, turno dopo turno.

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Lampada per asciugatura wafer all ingrosso