http://ir-heater-system.com/id/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo id Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/id/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/id/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Penggantian lampu Mattson RTP"></p> <p>Di lantai pabrik, profil lampu yang mengalami drifting tidak memicu alarm. Hal ini muncul sebagai hotspot 0,3°C di seluruh wafer, pergeseran lambat pada dimensi kritis, dan photoresist yang tidak bisa matang secara merata. Ketika alat Mattson RTP menua, uniformitas termal adalah hal pertama yang menurun. Lampu pengganti yang kami gunakan dirancang untuk mengoreksi drifting tersebut dan mengembalikan kontrol proses ke posisi yang seharusnya.</p> <p>Inti teknisnya adalah presisi pemanasan inframerah. Kami menyesuaikan geometri ruang Mattson dengan sumber <a href="https://o-yate.net">inframerah</a> gelombang pendek, mencapai uniformitas sub-milimeter di seluruh bidang wafer dan profil suhu yang dapat diulang dari siklus ke siklus. Array lampu dikalibrasi untuk mempertahankan ±0,1°C di zona aktif, sehingga langkah soft bake dan hard bake tetap sesuai dengan anggaran termal yang dibutuhkan litografi.</p>