Mengapa kita beralih dari oven konvensional ke metode pengeringan menggunakan sinar inframerah?
Sejujurnya, oven konvensional tersebut sudah ketinggalan zaman di dunia semikonduktor. Oven ini berukuran besar, lambat dalam proses pemanasan, dan sulit untuk dikendalikan. Itulah mengapa banyak pabrik beralih menggunakan metode pengeringan dengan sinar inframerah. Tujuannya bukan hanya untuk mematuhi aturan lingkungan atau menghindari penggunaan timbal, tetapi juga untuk membuat proses produksi menjadi lebih efisien.
Cara kerja metode ini berbeda dengan oven konvensional. Dengan oven konvensional, kita perlu memanaskan udara di dalam ruangan yang luas agar energi dapat sampai ke wafer yang ukurannya sangat kecil. Hal ini sangat tidak efisien. Sedangkan metode IR berbeda; energi langsung dipindahkan dari sumbernya ke substrat tanpa melalui udara. Tidak ada perantara, dan tidak perlu menunggu udara menjadi panas terlebih dahulu.
Karena prosesnya begitu efisien, kita tidak perlu lagi menggunakan pelarut organik atau bahan perantara yang berbahaya untuk mempercepat prosesnya. Selain itu, biaya listrik pun berkurang—dengan kata lain, penggunaan energi dapat dikurangi sebesar 30% hingga 50%.
Jika Anda pernah berada di ruang bersih, Anda pasti tahu betapa sulitnya mengendalikan partikel debu di sana. Kipas berkecepatan tinggi justru akan menimbulkan debu. Sedangkan pemanas inframerah tidak menghasilkan debu sama sekali. Prosesnya pun bersih, tenang, dan tanpa emisi berbahaya.
Tapi ingat, ini bukanlah magi. Ada beberapa hal yang perlu diperhatikan agar prosesnya berjalan lancar. Metode IR memang cepat—sangat cepat. Suhu yang diinginkan dapat dicapai dalam hitungan detik. Namun, kecepatan ini memiliki dua sisi. Jika wafer tidak diletakkan dengan tepat atau intensitas cahaya terlalu tinggi, maka akan muncul “titik panas” pada substrat. Satu kesalahan kecil saja sudah cukup untuk merusak substrat tersebut. Anda perlu memilih pengontrol PID dan sensor jarak yang tepat, agar bahan-bahan yang digunakan tidak rusak.
Yang paling bagus adalah dampak positifnya terhadap lingkungan. Dengan menghilangkan waktu pemanasan yang lama, jejak karbon pun berkurang. Tidak ada emisi gas rumah kaca, dan penggunaan listrik pun berkurang. Metode ini sangat cocok untuk digunakan di pabrik-pabrik semikonduktor, dan mudah melewati audit energi hijau. Ini merupakan cara yang lebih sederhana untuk melakukan proses produksi.