Menghentikan Kebocoran Energi dalam Proses Pengeringan di pabrik Semikonduktor
Jika Anda pernah melakukan audit energi di pabrik semikonduktor, Anda pasti tahu di mana kebocoran energi tersebut terjadi. Biasanya, hal itu terjadi pada tahap pengeringan. Kebanyakan pabrik menggunakan oven konvektif yang besar untuk menghilangkan uap air dari permukaan wafer, dengan cara memanaskan setiap inci kubik udara di dalam ruang pengeringan. Hal ini membutuhkan banyak energi agar produk tidak memiliki noda akibat uap air.
Tapi ada cara yang lebih baik untuk menangani hal ini. Alih-alih memanaskan udara, mengapa tidak langsung memanaskan wafernya saja? Inilah fungsi lampu inframerah berfrekuensi pendek.
Menghilangkan “perantara” dalam proses pengeringan
Lampu inframerah tidak peduli dengan udara di sekitarnya. Radiasi elektromagnetik yang dipancarkan oleh lampu tersebut langsung menuju molekul air di permukaan wafer. Dengan demikian, tidak perlu lagi menggunakan energi yang besar untuk memanaskan dinding mesin.
Selain itu, proses pemanasan menggunakan lampu inframerah berlangsung secara instan. Panas dapat diberikan tepat pada saat wafer memasuki zona pemrosesan, dan daya yang digunakan dapat dihentikan begitu saja setelah wafer keluar dari zona tersebut. Tidak ada lagi “panas yang sia-sia” yang merugikan biaya operasional pabrik.
Keseimbangan yang penting
Yang perlu diperhatikan bukan hanya tingkat intensitas panas yang digunakan. Untuk mencapai tingkat penguapan yang diinginkan, diperlukan densitas daya yang tinggi. Namun hal ini juga menimbulkan masalah. Jika intensitas panas terlalu tinggi, maka akan timbul tekanan termal pada tepi wafer. Ini merupakan keseimbangan yang sulit dicapai. Diperlukan sistem kontrol yang efektif untuk mencegah wafer menjadi terlalu panas. Jangan lupa juga tentang kipas pendingin—jika kipas tersebut tidak berfungsi dengan baik, maka panas yang dihasilkan akan meningkatkan suhu di ruang bersih, dan tentu saja hal ini tidak diinginkan.
Manfaat bagi planet bumi
Dengan mengganti oven berbasis gas atau oven listrik yang rumit dengan lampu inframerah, penggunaan energi per wafer akan berkurang secara signifikan. Di pabrik dengan kapasitas produksi tinggi, peningkatan efisiensi ini akan memberikan manfaat yang besar. Artinya, ton-ton karbon dioksida dapat dihindari dari atmosfer setiap tahunnya. Dengan demikian, proses produksi menjadi lebih efisien, dan biaya energi pun menjadi lebih terkendali.