Hentikan Pemanasan Udara: Cara Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer
Kami telah mengganti pemanas tipe resistif yang digunakan di pabrik semikonduktor dengan kontroler pengering inframerah digital. Mengapa? Karena memanaskan seluruh ruang oven hanya untuk mengeringkan satu wafer merupakan pemborosan energi yang besar. Ini sama saja dengan memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanggang sepotong roti.
Memastikan Panas Diturunkan ke Tempat yang Tepat
Oven konveksi biasanya membutuhkan waktu yang sangat lama untuk memanaskan udara. Sistem IR kami mengatasi hal ini. Sistem ini menggunakan radiasi gelombang pendek untuk mengirimkan energi langsung ke permukaan wafer.
Kami menggunakan kontroler digital berbasis PID untuk menyesuaikan daya secara real-time. Dengan cara ini, fenomena “overshoot” yang terjadi pada sistem analog dapat dihindari—yakni suhu yang terus meningkat setelah mencapai target yang ditentukan. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk mengeringkan wafer menjadi lebih singkat. Jejak karbon yang dihasilkan pun berkurang.
Detail Mengenai Sistem Kontrol
Kabel-kabel yang digunakan harus dipasang dengan rapi. Kami menggunakan sistem komutasi frekuensi tinggi. Anda membutuhkan sistem yang mampu mendengarkan sinyal dari termokopel dan menyesuaikan daya lampu dalam hitungan milidetik. Jika kontroler lambat bereaksi, maka wafer bisa terbakar atau masih memiliki kelembapan yang tinggi. Kedua situasi ini tentu tidak baik. Untuk menjaga kinerja sistem tetap stabil, kami biasanya menggunakan SCR. Hal ini memastikan pasokan daya tetap stabil dan dapat diprediksi.
Masalah yang Perlu Diperhatikan: Mengelola Panas
Masalahnya adalah, array IR berkepadatan tinggi akan menjadi sangat panas. Meskipun proses pengeringan menjadi lebih efisien, kipas pendingin harus bekerja keras untuk mencegah komponen elektronik di sekitarnya rusak akibat panas yang berlebihan. Jika sistem pendinginan kurang memadai, suhu lingkungan yang tinggi akan menyebabkan sensor tidak berfungsi sehingga seluruh sistem berhenti beroperasi. Ini merupakan trade-off yang perlu dikelola dengan baik.
Apa Artinya Ini bagi Pabrik?
Pada akhirnya, yang penting adalah jumlah energi yang digunakan per wafer. Kami berhasil mengubah proses yang lambat dan membutuhkan banyak energi menjadi proses yang cepat dan efisien. Bagi mereka yang ingin mengurangi emisi karbon di ruang produksi, ini merupakan solusi yang paling efektif. Wafer dapat diproses lebih cepat, dan biaya listrik pun berkurang. Ini merupakan situasi yang menguntungkan untuk semua pihak.