हाई-लोड वेफर प्रोसेसिंग में लैंपों की खराबी से निपटना
जब अर्धचालक उत्पादन में इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग अत्यधिक मात्रा में किया जाता है, तो स्थिति जटिल हो जाती है। यदि क्वार्ट्ज ट्यूब दबाव के कारण फट जाती है, तो न केवल लैंप खराब हो जाता है, बल्कि उसके टुकड़े भी वेफरों पर गिर जाते हैं। यह एक बड़ी समस्या है… ऐसी स्थिति में पूरा बैच ही खराब हो सकता है, और आपकी उत्पादन क्षमता भी नष्ट हो जाती है।
एक सरल समाधान: सुरक्षा कवर
हमने इस समस्या का समाधान ढूँढ लिया है। इन्फ्रारेड लैंपों को खुले में न रखकर, हम उन्हें विशेष स्टेनलेस स्टील के कवरों में रखते हैं। यह वास्तव में एक “सुरक्षा कवर” ही है… यदि लैंप गर्मी के कारण फट जाता है, तो यह कवर सभी टुकड़ों को अपने अंदर ही रख लेता है… इससे वेफर साफ ही रहते हैं। बस इतना ही।
सामग्री संबंधी जानकारी
स्वच्छ कक्षों की आवश्यकताओं के आधार पर, हम 304 या 316L स्टेनलेस स्टील का ही उपयोग करते हैं। हमने इन्हीं सामग्रियों को चुना, क्योंकि ये गर्मी को सहन कर सकती हैं… इससे लैंप अपनी जगह पर ही रहते हैं।
हम टोलरेंस संबंधी बातों पर भी ध्यान देते हैं… धातु को गर्म होने पर थोड़ी जगह चाहिए, लेकिन इतनी जगह नहीं कि टुकड़े बाहर निकल सकें।
चूँकि हमें नुकसान से बचना है, इसलिए ऐसे कवरों को तेजी से बदला जा सकता है… बस खराब लैंप को निकालकर नया लैंप लगा देना ही पर्याप्त है… पूरी हीटिंग सिस्टम को तोड़ने की आवश्यकता ही नहीं है।
संतुलन
लेकिन इसका एक नुकसान भी है… स्टील की परत लगने से इन्फ्रारेड ऊर्जा में कमी आ जाती है… धातु कुछ ऊर्जा को अवशोषित कर लेती है… इसलिए 100% ऊर्जा वेफरों तक नहीं पहुँच पाती।
इसकी भरपाई के लिए, आपको वॉटेज बढ़ाना होगा, या वेफरों को थोड़ी देर और गर्म रखना होगा।
क्या यह थोड़ा कम कुशल है? हाँ… लेकिन जब आप उच्च मात्रा में उत्पादन कर रहे होते हैं, तो थोड़ा अधिक समय लेना कोई बड़ी समस्या नहीं है… यह तो वेफरों के नष्ट होने से बचने हेतु एक छोटी कीमत ही है।