Gérer les pannes des lampes dans le traitement de wafers à forte charge
Lorsque l’on met les lampes infrarouges à rude épreuve dans la production de semi-conducteurs, les choses peuvent devenir compliquées. Si un tube en Quartz explose sous la pression, cela signifie que vous n’aurez plus de lampe fonctionnelle, et donc que la ligne de production s’arrêtera. De plus, des morceaux de verre et des filaments de tungstène tomberont directement sur les wafers. C’est un véritable cauchemar. Une seule explosion peut contaminer toute une série de wafers, ce qui entraîne une perte importante de productivité pour la journée.
Une solution simple : le boîtier de sécurité
Nous avons trouvé un moyen d’éviter cela. Au lieu de laisser les tubes infrarouges à l’air libre, nous les plaçons dans des gaine en acier inoxydable sur mesure. On peut considérer cela comme une sorte de “cage de sécurité”. Si une lampe tombe en panne ou explose à cause du choc thermique, le boîtier retient tous les débris. Les wafers restent ainsi propres. C’est aussi simple que ça.
Les détails liés aux matériaux
Selon les besoins de votre salle propre, nous utilisons soit de l’acier inoxydable 304, soit 316L. Nous choisissons ces matériaux car ils résistent bien à la chaleur sans se déformer, ce qui garantit que les lampes restent bien en place. Nous prêtons également beaucoup d’attention aux tolérances : il faut suffisamment d’espace pour que le métal puisse se dilater lorsqu’il chauffe, mais pas assez pour que des débris puissent passer par les bords. Et comme nous savons que les temps d’arrêt sont un problème majeur, ces boîtiers sont conçus pour permettre un remplacement rapide. Il suffit de retirer la lampe défectueuse et d’en insérer une nouvelle. Il n’est pas nécessaire de démonter toute la série de chauffage juste pour réparer une seule lampe.
Les compromis
Le problème, c’est que l’ajout d’un étage en métal entraîne une légère diminution de la transmission des rayons infrarouges. Le métal absorbe en effet une partie de l’énergie, ce qui signifie que vous ne recevez pas 100 % de la chaleur désirée. Pour compenser cela, il peut être nécessaire d’augmenter la puissance de la lampe ou de laisser les wafers sous chaleur un peu plus longtemps. Est-ce que c’est moins efficace ? Oui. Mais lorsque l’on travaille à grande échelle, un cycle de chauffage légèrement plus long est un petit prix à payer. C’est bien moins cher que de perdre toute une série de wafers à cause de débris de verre.