http://ir-heater-system.com/fa/tags/%D8%A2%D8%B1-%D8%AA%DB%8C-%D9%BE%DB%8C/ Recent content in آر تی پی on Advanced Infrared Heating Systems Hugo fa Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/fa/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="تعویض لامپ RTP متسون"></p> <p>در خط تولید، تغییر تدریجی پروفایل لامپ هشدار نمی‌دهد. این تغییر به صورت یک نقطه داغ ۰.۳°C در سراسر ویفر، تغییرات آهسته در ابعاد بحرانی و پخش نامنظم رزین حساس به نور هنگام پخت دیده می‌شود. با افزایش عمر ابزار <a href="https://o-yate.com">Mattson</a> RTP، یکنواختی حرارتی اولین چیزی است که کاهش می‌یابد. لامپ‌های جایگزینی که استفاده می‌کنیم برای جبران این تغییر ساخته شده‌اند و کنترل فرایند را به جایگاه اصلی خود بازمی‌گردانند.</p> <p>هسته فنی این موضوع دقت گرمایش مادون قرمز است. ما هندسه اتاقک Mattson را با منابع مادون قرمز موج کوتاه تطبیق می‌دهیم، به گونه‌ای که یکنواختی زیر میلی‌متر در سطح ویفر و پروفایل‌های دمایی قابل تکرار در هر بار اجرای فرایند ایجاد شود. آرایه لامپ‌ها طوری کالیبره شده است که ±۰.۱°C در ناحیه فعال حفظ شود، بنابراین مراحل پخت نرم و پخت سخت بودجه حرارتی مورد نیاز لیتوگرافی را تامین می‌کنند.</p>