http://ir-heater-system.com/es/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo es Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/es/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/es/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Reemplazo de lámpara RTP Mattson"></p> <p>En la planta, un perfil de lámpara que deriva no genera alarmas. Se manifiesta como un punto caliente de 0.3°C en el wafer, una deriva lenta en la dimensión crítica y un fotoresistente que no se hornea de manera uniforme. Cuando la herramienta Mattson RTP envejece, la uniformidad térmica es lo <a href="https://o-yate.net">primero</a> que falla. Las lámparas de reemplazo que utilizamos están diseñadas para corregir esa deriva y mantener el control del proceso donde corresponde.</p> <p>El núcleo técnico radica en la precisión del calentamiento por infrarrojos. Adaptamos la geometría de la cámara Mattson con fuentes de infrarrojo de onda corta, logrando una uniformidad submilimétrica a lo largo del plano del wafer y perfiles de temperatura repetibles en cada corrida. El arreglo de lámparas está calibrado para mantener ±0.1°C en la zona activa, de modo que los pasos de horneado suave y horneado duro respetan el presupuesto térmico requerido por la litografía.</p>