Verhindern Sie, dass die Wärme überallhin dringt
In der Halbleiterherstellung ist Wärme, die nicht dort ist, wo sie sein sollte, ein Problem – ganz einfach. Wenn man Hochleistungs-IR-Emitter verwendet, bleibt die Wärme nicht nur auf dem Wafer konzentriert. Sie strahlt nach hinten und zur Seite ab, wodurch innere Bereiche der Anlage zu „Öfen“ werden. Wenn man dies nicht verhindert, können die Bediener verbrannt werden – oder noch schlimmer: Die Komponenten der Anlage können unter dem Druck beschädigt werden.
Deshalb verwenden wir keramische Endkappen.
Die Wärme soll tatsächlich nach vorne geleitet werden
Stellen Sie sich eine herkömmliche IR-Lampe wie eine Glühbirne vor – diese sendet Energie in alle Richtungen aus. In Ihrem Prozess aber interessiert Sie nur der Zielbereich. Die keramischen Endkappen fungieren dabei wie eine Wand: Sie blockieren die Strahlung, die in die falsche Richtung geht, und leiten alle IR-Energie nach vorne. Dadurch bleibt die Innentemperatur der Anlage im Griff. Die Wärmedichte liegt genau dort, wo sie benötigt wird – und die Wände der Anlage bleiben kühl.
Warum hochreines Alumina?
Wir verwenden hochreines Alumina-Keramikmaterial, weil dieses Material starken Belastungen standhalten kann. Diese Bauteile müssen ständig zwischen Raumtemperatur und mehreren Hundert Grad wechseln. Wenn man billige Materialien verwendet, brechen diese schnell oder lösen sich ab. Zudem kann das Keramikmaterial die chemischen Stoffe, die in Reinräumen entstehen, problemlos bewältigen. Entscheidend ist eine perfekte mechanische Passform – wenn es Lücken gibt, strahlt die Wärme wieder nach außen, und man ist wieder am Anfang.
Ein kurzer Hinweis auf die Nachteile
Das Hinzufügen dieser Endkappen verändert das Verhalten der Lampe. Da die Wärme nun nicht mehr nach hinten entweichen kann, steigt die Innentemperatur des Emitters an. Man kann die Endkappen einfach nicht so hinsetzen und dann ignorieren. Man muss sicherstellen, dass die Kühlfans oder Wasserjacketts mit diesem Anstieg umgehen können. Wenn die Luftzirkulation nicht ausreichend ist, werden die Fasern der Lampe viel zu schnell zerstört. Stellen Sie sicher, dass die Leistungseinstellungen zur thermischen Kapazität der Endkappen passen – so vermeiden Sie unerwünschte Hotspots.