Stoppen Sie die Glassplitter: Bewahren Sie Ihre Wafer sauber, wenn die Lampen versagen
In einer Hochleistungs-Semikonduktorenfabrik ist das Ausfallen einer Infrarotlampe ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandzeiten – sondern auch um die anschließende Reinigung. Wenn eine Quarztube kaputtgeht, hört sie nicht nur auf zu funktionieren, sondern verteilt außerdem Glassplitter und Partikel auf den Wafern. Das ist ein echtes Chaos.
Deshalb bauen wir unsere Heizungen für Reinraumumgebungen so, dass sie solche Katastrophen bereits im Vorfeld verhindern können.
Die Sicherheitsmaßnahmen
Wir verlassen uns nicht nur darauf, dass der Quarz standhält. Wir haben zusätzlich einen Schutzschirm eingebaut, der wie ein „Sicherheitsnetz“ fungiert. Wenn eine Tube platzt, fängt der Schutzschirm die Bruchstücke auf.
Um zu verhindern, dass die Lampen schneller versagen, verwenden wir hochreinen Quarz. Dieser kann schnelle Temperaturwechsel aushalten, ohne durch thermische Belastungen zu beschädigt zu werden. Dadurch gibt es weniger Probleme während des Betriebs.
Umgang mit der Hitze
Wenn man hocheffiziente Lampen in einem kleinen Raum unterbringt, wird es schnell sehr heiß. Wenn die Kühlsysteme nicht ausreichen, überhitzen die Enden der Lampen. Dann versagen die Dichtungen und es kommt zu Gaslecks.
Um das zu verhindern, verwenden wir verstärkte Anschlüsse sowie spezielle Dichtungen. Diese sorgen dafür, dass das Vakuum erhalten bleibt – selbst dann, wenn die thermischen Belastungen extrem hoch sind.
Schneller Austausch, weniger Staub
Der Austausch einer Lampe sollte keine schwierige Prozedur sein. Wir haben die Installation einfach gestaltet, indem wir standardisierte Anschlüsse verwendet haben. Man muss die neue Lampe einfach einsetzen – schon kann man wieder weiterarbeiten.
Je schneller man die Lampe austauschen kann, desto kürzer bleibt der Ofen geöffnet. Und je kürzer er geöffnet bleibt, desto weniger Partikel können eindringen und Ihre Produkte beschädigen.
Ein Rat
Wenn man diese Lampen bis zu ihrer maximalen Leistung betreibt, gehen sie schneller kaputt. Es handelt sich dabei um ein Kompromiss: Man muss abwägen, wie schnell man die Temperatur erhöhen möchte – und wie oft man den Ofen öffnen muss, um die Lampen auszutauschen.
Wenn man die Lampen zu lange bei zu hoher Temperatur betreibt, muss man alle paar Wochen neue Quarztuben einsetzen. Stellen Sie sicher, dass die PID-Einstellungen richtig sind, damit die Zieltemperatur nicht überschritten wird. So werden sowohl Ihre Geräte als auch Sie selbst profitieren.