http://ir-heater-system.com/cs/tags/rtp/ Recent content in RTP on Advanced Infrared Heating Systems Hugo cs Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/cs/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Mon, 01 Jun 2026 17:55:39 +0800 http://ir-heater-system.com/cs/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heater-system.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="Výmena lampy Mattson RTP"></p> <p>Na výrobní <a href="https://o-yate.net">lince</a> profil lampy s driftováním nezpůsobí poplach. Projevuje se jako hotspot o velikosti 0,3 °C přes celý wafer, pomalý posun kritické dimenze a fotoresist, který se nerovnoměrně vypaluje. Když nástroj Mattson RTP stárne, první, co se zhoršuje, je tepelná uniformita. Náhradní lampy, které používáme, jsou navrženy tak, aby tento drift eliminovaly a vrátily řízení procesu tam, kde má být.</p> <p>Technickým jádrem je přesné infračervené ohřívání. Geometrii komory Mattson kombinujeme se zdroji krátkovlnného infračerveného záření, dosahujeme submilimetrové uniformity po celé rovině waferu a opakovatelných teplotních profilů běh za během. Pole lamp je kalibrováno tak, aby udržovalo ±0,1 °C přes aktivní zónu, takže kroky soft bake a hard bake <a href="https://henruite.com">odpov</a>ídají tepelnému rozpočtu požadovanému litografií.</p>