Chytrá infračervená topidla: Přenesení každého wattu tepla na povrch waferu Při návrhu chytrých infračervených topných systémů určených k obalu...

V provozu lze poloviční odchylku teploty během procesu vypalování způsobit posun kritických rozměrů o několik nanometrů – což může zničit hodiny...