
为何我们选择红外加热技术来固化半导体材料
如果你仍然依赖溶剂干燥或大型对流式烤箱,那么你肯定已经意识到实现绿色制造的紧迫性了。这不仅仅是为了满足“环保”的要求,更是为了减少洁净室带来的环境负担。
因此,我们在手套箱中采用了红外加热技术。与传统的加热方式不同,红外加热不会让整个房间里的空气都受热,而是直接将能量传递到需要加热的部件上。这样一来,就无需使用庞大的空气处理设备,也不会浪费电能,从而大大降低碳足迹。
加热的优势
有趣的是,红外波不会影响空气中的其他物质,它们可以直接穿透被加热的介质。我们可以调整这些元件的参数,使其能够精准地作用于需要加热的材料。这样一来,就不必再为加热手套箱的墙壁或其中的惰性气体而付出代价了。
速度极快。因为热量不需要通过任何介质来传递,所以加热时间可以大大缩短。
在手套箱内的正确应用
在手套箱中工作时,最不希望看到的就是污染问题。我们会使用高纯度的石英容器来防止有害气体进入,从而确保产品的质量。通常情况下,我们会使用短波或中波发射器。因为这样可以让热量直接作用于目标部位,而不是让整个手套箱都变得过热。
不过,功率密度也需要小心控制。虽然高功率的元件可以快速完成加热过程,但它会给电源带来很大压力。此外,如果灯管距离工件太近,就会导致局部过热。必须精确控制好焦点位置,否则就有可能烧毁芯片。
权衡利弊
红外加热确实既高效又环保,但它有一个缺点:需要清晰的视线。如果工件有复杂的形状或深沟,那就会有阴影出现,此时就无法实现均匀的加热效果。为了解决这个问题,我们通常会使用镀金反射器,这样就可以把原本会被浪费的能量重新反射回工件上。简单有效。