Đảm bảo dữ liệu nhiệt độ chính xác trong quy trình sản xuất
Nếu bạn muốn xây dựng một nhà máy “thông minh”, chắc hẳn bạn đã nhận ra rằng chỉ có phần mềm tốt thôi là chưa đủ. Bạn không thể chỉ mua một bảng điều khiển và coi như xong việc. Bạn cần phải có các thiết bị phần cứng có khả năng kết nối với dữ liệu thực tế.
Khi nói đến việc gia nhiệt các linh kiện bán dẫn, vấn đề thực sự không nằm ở chính bộ sưởi, mà nằm ở chu trình phản hồi từ hệ thống. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng các hệ thống hồng ngoại hiệu suất cao – chúng có khả năng phản ứng nhanh, giúp duy trì quy trình sản xuất số hóa một cách hiệu quả.
Những thách thức liên quan đến phản hồi nhiệt độ
Việc duy trì nhiệt độ ổn định trên các tấm wafer là một công việc khó khăn. Chúng tôi sử dụng các cặp nhiệt kế kết hợp với bộ sưởi hồng ngoại để đạt được mục tiêu này.
Nhưng vấn đề là: chỉ đọc được nhiệt độ thông thường thì chưa đủ. Chúng ta cần độ trễ chỉ ở mức vài miligiây. Nếu cảm biến hoạt động chậm, chu trình PID sẽ bị sai lệch. Kết quả là silic sẽ bị tổn thương, và bạn sẽ lãng phí nguyên vật liệu. Chúng tôi thiết kế các cảm biến sao cho chúng có thể chịu được nhiệt độ cao từ tia hồng ngoại mà không bị sai lệch.
Biến dữ liệu thành nguồn thông tin hữu ích
Mục tiêu là tạo ra một bản sao kỹ thuật số của quy trình gia nhiệt. Chúng tôi kết nối các cảm biến này vào hệ thống dựa trên dữ liệu số, để bạn có thể theo dõi tình trạng nhiệt độ trong quá trình sản xuất.
Không cần phải nhìn vào các thiết bị đo thông thường nữa. Mọi thứ đều được chuyển thành tín hiệu số, được gửi trực tiếp vào hệ thống PLC. Điều này giúp bạn có cái nhìn rõ ràng về cách nhiệt lượng lan tỏa trên bề mặt tấm wafer.
Những rủi ro và hạn chế
Việc thu thập dữ liệu với tốc độ cao cũng mang theo những rủi ro. Càng nhạy cảm với nhiệt độ, cảm biến càng dễ bị ảnh hưởng bởi nhiễu điện từ từ các nguồn cung cấp điện. Điều này gây ra nhiều phiền toái. Nếu bạn không sử dụng cáp được bảo vệ tốt và không thiết lập hệ thống định vị đúng cách, nhiễu điện từ sẽ xâm nhập vào tín hiệu. Và kết quả là dữ liệu thu được sẽ trở thành những tín hiệu vô nghĩa.
Chúng tôi thiết kế các hệ thống này sao cho chúng có thể thay thế các bộ sưởi cũ một cách dễ dàng. Bạn không cần phải thay toàn bộ hệ thống sưởi để có được dữ liệu kỹ thuật số. Điều quan trọng là có được dữ liệu chính xác từ khu vực gia nhiệt đến máy chủ. Rất đơn giản thôi.