Hat üzerinde, soft bake’de 0,5°C’lik bir sapma “küçük bir hata” değildir. Bu, reddedilmiş bir parti demektir. Foto resist işleme sürecinde termal...

On fabrika katında, kayan bir lamba profili alarm vermez. Wafer üzerinde 0.3°C’lik bir sıcak nokta olarak görünür, kritik boyutta yavaş bir sapma ve...