Wafer işlemleri için doğru kızılötesi yansıtıcıların seçimi
Waferleri işlerken asıl mesele, ısının nasıl kontrol edileceğidir. Çoğu kişi bunun çözümünün gücü artırmak olduğunu düşünür; ancak bu bir israftır. Biz ise yansıtıcılara odaklanıyoruz. Bunlar, kızılötesi enerjinin sadece odayı ısıtmak yerine doğrudan waferlere ulaşmasını sağlayan araçlardır.
Özellikle günümüzde herkes “yeşil fabrikalar” konusunda baskı yaparken, hedef daha fazla güç kullanmak değil, her bir fotonun değerlendirilmesidir.
Isının nereye gittiği
Bir kez daha düşünün: Yansıtıcısı olmayan bir ışık kaynağı, enerjisinin yarısını boşa harcamaktadır. Bu da büyük bir israf demektir.
Kısa dalga boylu kızılötesi ışınları tekrar waferlere yönlendirmek için altın veya alüminyum kaplamalar kullanıyoruz. Böylece güç ayarlarına dokunmadan ısı akışını artırabiliyoruz. Daha iyi yansıtma özelliği, her wafer için daha düşük enerji tüketimi anlamına gelir. Bu kadar basit.
Doğru malzemelerin seçimi
Herhangi bir metali kullanamazsınız. Bu, işlemin yapıldığı bölgenin ne kadar sıcak olduğuna bağlıdır. Yüksek saflıkta alüminyum çoğu durumda uygundur. Ancak çok yüksek sıcaklıklarda altın kaplı kuvars veya özel seramikler kullanılır. Neden mi? Çünkü sürekli ısıtma ve soğutma, daha ucuz malzemelerin şeklinin bozulmasına neden olur.
Ayrıca şekil de son derece önemlidir. Eğer eğri birkaç milimetre bile saparsa, sıcak noktalar oluşur. Sıcak noktalar ise waferin şeklinin bozulmasına veya eşit olmayan işlemlerin gerçekleşmesine neden olur.
Güç ve alan dengesi
Bir fabrikadaki karbon ayak izini azaltmak genellikle gereksiz enerjinin ortadan kaldırılmasıyla başlar. Yüksek yansıtma özelliğine sahip sistemler sayesinde daha düşük güçteki ışık kaynakları kullanılabilir ve hedeflenen sıcaklık elde edilebilir. Ayrıca, soğutma sistemlerinin de o kadar çok çalışmasına gerek kalmaz. Bu da hem kazançlı hem de avantajlıdır.
Ancak bir dezavantajı var: Bu yansıtıcılar ısıyı yoğun bir şekilde yoğunlaştırır. Eğer konveyörün hızı değişirse, waferin kenarları aşırı derecede ısınabilir. Bu yüzden hız ve odaklanma derecesinin tam olarak uyumlu olması gerekiyor; aksi takdirde atık ürünler ortaya çıkar.
Biz bunları yerine takılabilir parçalar olarak tasarlıyoruz. Böylece tüm ekipmanları söküp yeniden kurmak zorunda kalmadan emisyon hedeflerine ulaşılabilir.