Как получить точные термические данные на производстве
Если вы пытаетесь создать «умное производство», вам, вероятно, уже ясно, что одних только сложных программ недостаточно. Нельзя просто купить прибор для отслеживания данных и считать задачу решенной. Необходимо оборудование, которое будет эффективно работать с данными.
Что касается нагрева полупроводников, то настоящей проблемой обычно является не сам нагреватель, а система обратной связи. Поэтому мы используем высокоэффективные инфракрасные системы – они реагируют достаточно быстро, чтобы справляться с требованиями цифрового производства.
Проблемы с термической обратной связью
Для сохранения однородности структуры пластины необходимо балансировать различные факторы. Мы используем специальные термопары в сочетании с инфракрасными нагревателями для достижения желаемого результата.
Но здесь есть одна проблема: одних лишь данных о температуре недостаточно. Необходима мгновенная реакция системы. Если датчик работает медленно, то происходит перегрузка системы контроля температуры. В результате возникает термическое напряжение на кремнии, что приводит к потере материала. Мы разрабатываем датчики, способные работать в условиях высоких температур, без ошибок.
Сделать данные полезными
Цель заключается в том, чтобы иметь цифровую картину процесса нагрева. Мы подключаем термопары к системе управления данными, чтобы можно было видеть изменения температуры в реальном времени.
Больше не нужно смотреть на аналоговые приборы. Все превращается в цифровые сигналы, которые поступают прямо в ПЛК. Это позволяет получить четкую картину распределения тепла по поверхности пластины.
Компромиссы и подводные камни
Высокая скорость передачи данных имеет свои недостатки. Чем более чувствительна термопара, тем больше она подвержена влиянию электрических помех от источников питания. Если не использовать защищенные кабели и правильно настроить заземление, в сигнал будут проникать помехи. В результате «умные» данные превращаются в случайные шумы.
Мы разработали эти системы так, чтобы они могли заменить существующее оборудование. Не нужно полностью заменять нагревательное оборудование, чтобы получить цифровые данные. Достаточно просто получать чистые, надежные данные из зоны нагрева на сервер. Все проще простого.