Na linii produkcyjnej nawet półstopniowa różnica w temperaturze suszenia może spowodować zmianę krytycznych wymiarów elementów na poziomie nanometrów – co oznacza utratę godzin pracy nad procesem litograficznym. Lampy podczerwone do obróbki grafenu są rozwiązaniem na ten problem: zastępują one konwencjonalne grzejniki szybkim i stabilnym ciepłem promieniowym, dzięki czemu temperatura pozostaje w wymaganym przedziale.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia?
Stworzyliśmy ten emiter podczerwienia oparty na grafenie ze względu na szybkość i powtarzalność działania – reaguje więc szybko i przewidywalnie. Umożliwia to uzyskanie jednolitości temperatury na całej powierzchni płytki w zakresie ±0,1°C. System może działać w pomieszczeniach o czystości klasy 1–100, bez wytworzania cząstek lub gazów, co zmniejsza liczbę defektów. Wydajność emitera pozostaje stała przez ponad 5 000 godzin, przy odchyleniu temperatury poniżej 5%. Dzięki temu każda płytka otrzymuje tę samą gęstość energii, niezależnie od partii produkcyjnej. Po otwarciu lub zamknięciu drzwi lampy szybko wracają do stanu stabilności, dzięki czemu parametry suszenia pozostają niezmienione.
Dlaczego to rozwiązanie sprawdza się w procesie produkcji?
W procesie obróbki fotorezystu krok suszenia wpływa na napięcie w filmie, jego czułość oraz profil krawędzi. Dzięki tym lampom można lepiej kontrolować proces suszenia, co zmniejsza ilość prace nad płytkami i poprawia jednolitość ich parametrów. Szybkie nagrzewanie skraca czas cyklu bez uszczerbku dla dokładności temperatury, a wysoka efektywność obniża koszty produkcji na jedną płytkę. Jest to rozwiązanie odpowiadające międzynarodowym standardom, które można bez problemu zaimplementować w istniejących liniach produkcyjnych – nie trzeba więc ponownie kalibrować całej linii. Można więc zachować aktualne parametry procesu i jednocześnie zwiększyć wydajność produkcji.
Na co należy zwrócić uwagę?
Wydajność lampy zależy od czystości kwarcowego okna oraz poziomu płaskości montażu. Aby utrzymać wartość ±0,1°C, należy przestrzegać określonych wartości momentu obrotowego oraz procedur czyszczenia pomieszczeń. Emiter wymaga specjalnego źródła zasilania o niskich fluktuacjach oraz kalibrowanego pyrometru do kontroli w zamkniętym obwodzie – konieczne jest wcześniejsze zaplanowanie prac związanych z interfejsem. Gdy system będzie już dostosowany, może pracować 24/7, przy regularnych interwałach konserwacji, co minimalizuje nieplanowane przerwy w produkcji.