Riscaldamento zonale per fabbriche di wafer avanzate
On the fab floor, una variazione di mezzo grado nella temperatura di bake è sufficiente per scartare un lotto intero. Si osserva lo spostamento del...
Lampada per asciugatura wafer all ingrosso
Fuori dall’asciugatrice a centrifuga, il wafer esce ancora bagnato, e la tensione superficiale agisce già su quelle caratteristiche microscopiche. Se...