Come evitare la contaminazione delle wafer: come gestire le lampade a infrarossi nelle zone di lavaggio
Siionesti: la fase di lavaggio e asciugatura delle wafer è davvero delicata. Le lampade a infrarossi ad alta potenza vengono utilizzate proprio accanto a getti d’acqua e sostanze chimiche… È una situazione pericolosa.
Se una lampada si rompe in queste condizioni, non si tratta soltanto di una lampadina rotta: i frammenti di vetro possono danneggiare le wafer. Questo ovviamente riduce notevolmente la qualità dei prodotti finiti.
Il problema dello shock termico
I tubi di quarzo standard non riescono a resistere né al calore né al freddo. Quando una goccia d’acqua fredda colpisce un tubo che funziona a 600°C, il vetro si contrae immediatamente in quel punto. Ecco come si creano delle fessure nel vetro.
Per risolvere questo problema, utilizziamo vetro di quarzo rinforzato e rivestimenti impermeabili. Questi rivestimenti fungono da “scudo”, proteggendo gli elementi riscaldanti dagli agenti chimici, permettendo allo stesso tempo alla luce a infrarossi di passare e asciugare le wafer.
Come evitare che i frammenti di vetro entrino in contatto con le wafer
Per assicurarci che nulla possa danneggiare le wafer, utilizziamo un sistema di contenimento doppio. La lampada è racchiusa all’interno di un involucro sigillato e resistente alle sostanze chimiche. In pratica, questo involucro funge da barriera protettiva, impedendo ai frammenti di vetro di entrare in contatto con le wafer. Utilizziamo anche sigilli di alta qualità sulle estremità del tubo. Se l’umidità entra nei collegamenti elettrici, si possono verificare cortocircuiti e danni alle lampade. I sigilli prevengono tutto ciò.
Cosa aspettarsi durante l’installazione
L’uso di un rivestimento impermeabile cambia leggermente le cose: essendo presente più materiale, il calore non raggiunge le wafer altrettanto rapidamente rispetto a quando si utilizza un tubo semplice. Probabilmente sarà necessario modificare i tempi di avvio e le impostazioni di potenza per tenere conto di questa massa aggiuntiva. Inoltre, è importante verificare che i ventilatori di raffreddamento funzionino correttamente, in modo che il dispositivo rimanga fresco durante i lunghi cicli di produzione.
L’installazione di questi componenti nel sistema esistente è abbastanza semplice. Un’unica cosa da ricordare: assicurarsi che i sigilli siano ben serrati. Anche un piccolo spazio tra i sigilli può permettere all’umidità di entrare.