Ottenere dati termici precisi nella fabbrica
Se si vuole creare una “fabbrica intelligente”, è evidente che il solo utilizzo di software sofisticati non basta. Non si può semplicemente acquistare un pannello di controllo e considerare il lavoro completato. È necessario disporre di hardware in grado di interagire effettivamente con i dati raccolti.
Per quanto riguarda il riscaldamento dei semiconduttori, il problema principale non è il riscaldatore stesso, ma piuttosto il sistema di feedback. Ecco perché preferiamo utilizzare sistemi a infrarossi ad alta efficienza: questi reagiscono abbastanza rapidamente da poter tenere il passo con una linea di produzione digitale.
I problemi legati al feedback termico
Mantenere la uniformità della temperatura del wafer richiede equilibrio preciso. Utilizziamo termocoppie specifiche abbinate a riscaldatori a infrarossi per ottenere risultati ottimali.
Tuttavia, una semplice lettura della temperatura non è sufficiente. È necessaria una latenza minima. Se il sensore è lento, il sistema PID non funziona correttamente. In tal caso, si crea uno stress termico sul silicio, con conseguente spreco di materiale. I nostri sensori sono progettati per resistere al calore intenso generato dai raggi infrarossi, senza subire influenze negative.
Rendere i dati davvero utili
L’obiettivo è avere una rappresentazione digitale del processo di riscaldamento. Collegiamo queste termocoppie a un sistema basato su dati digitali, così da poter monitorare i profili termici in tempo reale.
Basta dire addio ai contatori analogici: tutto diventa un segnale digitale che viene inviato direttamente al PLC. Questo permette di avere una visione chiara e precisa di come il calore si distribuisce sul substrato.
Gli svantaggi
I dati ad alta velocità comportano alcuni svantaggi. Più un termocoppia è sensibile, più è soggetta agli interferenze elettriche provenienti dalle sorgenti di alimentazione a infrarossi. Se non si utilizzano cavi protetti e se la messa a terra non è corretta, le interferenze possono influenzare il segnale. Di conseguenza, i dati ottenuti diventano inutili.
Abbiamo progettato questi sistemi in modo che possano essere utilizzati come sostituti diretti dei dispositivi esistenti. Non è necessario sostituire l’intero sistema di riscaldamento per ottenere dati digitali. Basta semplicemente garantire che i dati provenienti dalla zona di riscaldamento arrivino al server in modo pulito e affidabile. Tutto qui.