Menghentikan Kontaminasi Wafer: Cara Mengelola Lampu IR di Zona Pencucian
Sejujurnya, tahap pencucian dan pengeringan wafer merupakan proses yang sangat sensitif. Di sana terdapat lampu inframerah berdaya tinggi yang berada tepat di sebelah semprotan air dan bahan kimia. Hal ini tentu saja berpotensi menimbulkan bencana.
Jika tabung lampu pecah dalam kondisi seperti itu, Anda tidak hanya menghadapi masalah tabung lampu yang rusak saja. Anda juga harus menghadapi serpihan kaca yang jatuh ke atas wafer. Hal ini tentu akan merusak kualitas wafer tersebut.
Masalah akibat guncangan termal
Tabung kuarsa biasa tidak mampu bertahan terhadap panas atau dingin yang ekstrem. Ketika tetesan air dingin menyentuh tabung yang beroperasi pada suhu 600°C, kaca tersebut akan menyusut secara mendadak di satu titik tertentu. Inilah yang menyebabkan retakan pada tabung tersebut.
Untuk mengatasi hal ini, kita menggunakan tabung kuarsa yang lebih kuat serta lapisan pelindung tahan air. Lapisan ini berfungsi sebagai perisai yang melindungi elemen pemanas dari cairan, sambil memungkinkan cahaya inframerah untuk melewati lapisan tersebut agar wafer dapat dikeringkan dengan baik.
Mencegah masuknya kotoran
Agar tidak ada kotoran yang menyentuh wafer, kita menggunakan sistem penutup ganda. Lampu tersebut ditempatkan di dalam selubung yang tahan kimia. Ini berfungsi sebagai “asuransi” – jika filamen lampu rusak atau tabung bagian dalamnya pecah, selubung luar akan menangkap semua serpihan kaca tersebut. Kita juga menggunakan sumbat yang kuat pada ujung tabung tersebut. Jika kelembapan masuk ke dalam sambungan listrik, maka akan terjadi korsleting dan lampu akan rusak. Sumbat ini mencegah hal tersebut terjadi.
Apa yang perlu diperhatikan saat pemasangan
Penggunaan lapisan pelindung tahan air memang sedikit mengubah cara kerja lampu. Karena adanya lapisan tambahan ini, panasnya tidak sampai ke wafer secepat sebelumnya. Anda mungkin perlu menyesuaikan waktu pemanasan dan pengaturan daya agar sesuai dengan beban yang ada. Selain itu, pastikan kipas pendingin berfungsi dengan baik agar suhu komponen tetap rendah selama proses produksi berlangsung.
Mengganti lampu tersebut dengan yang memiliki lapisan pelindung tahan air cukup mudah. Hanya satu hal yang perlu diperhatikan: pastikan sumbatnya dipasang dengan rapat. Sedikit celah saja sudah cukup untuk membiarkan kelembapan masuk ke dalam.