फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण के दौरान तापमान में होने वाले बदलावों से कोई बड़ी समस्या नहीं होती। ऐसे बदलाव धीरे-धीरे ही उत्पादन क्षमता को कम कर देते हैं… एक-एक वेफर के हिसाब से। लिथोग्राफी उपकरणों एवं पैकेजिंग लाइनों में, तापीय स्थिरता कोई वैकल्पिक विशेषता नहीं है… बल्कि यही प्रक्रिया का आधार है।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
हम अपने फैब असेंबली वर्कशॉपों में ऐसे हीटरों का उपयोग करते हैं, जिनमें क्वार्ट्ज विंडोवाले शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तत्व होते हैं। इससे तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है, एवं तापीय जड़त्व भी कम रहता है। सक्रिय क्षेत्र में वेफरों का तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहता है… और लगातार प्रक्रियाओं के दौरान भी यह स्थिरता बनी रहती है।
ऐसे हीटर क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में ही उपयोग में आ सकते हैं… क्योंकि ऐसे हीटरों में सील्ड हाउसिंग, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियाँ, एवं आंतरिक फिल्टरिंग व्यवस्थाएँ होती हैं… जिससे कणों की संख्या नियंत्रित रहती है। फोटोरेजिस्ट प्रसंस्करण के दौरान तापमान नियंत्रित रहता है… क्योंकि हीटर बंद-लूप सिस्टम के द्वारा ही तापमान को नियंत्रित करता है… न कि ऑपरेटर की इच्छा से।
व्यवहार में यह क्यों कारगर है?
आपको ऐसी हीटिंग प्रणाली की आवश्यकता है, जो नियंत्रित प्रक्रिया के रूप में काम करे… न कि केवल अनुमानों पर। वेफरों की सफाई एवं सुखाने की प्रक्रिया में, स्थिर तापमान से नमी कम रहती है… एवं किनारों पर दोष भी नहीं होते। लिथोग्राफी प्रक्रिया में, स्थिर तापमान से क्रिटिकल आयामों का नियंत्रण बेहतर रहता है… एवं पुनर्प्रसंस्करण की आवश्यकता भी कम हो जाती है।
स्थापना के दौरान क्या ध्यान रखना आवश्यक है?
ऐसे हीटर, मौजूदा फैब उपकरणों एवं उपकरणों के साथ ही काम करते हैं… लेकिन इनका इंटरफेस मशीन के अनुरूप होना आवश्यक है… जैसे कि नियंत्रण वोल्टेज, कनेक्टर का प्रकार, एवं इंटरलॉक लॉजिक। क्लीनरूम-अनुकूल हार्डवेयर का उपयोग करें… एवं प्रक्रिया विंडो के आसपास की जगहों की भी जाँच करें। तापीय प्रदर्शन, ठोस यांत्रिक संपर्क एवं नियंत्रित हवा प्रवाह पर ही निर्भर है।
वोल्टेज एवं फुटप्रिंट के निर्देशों का पालन करें… ताकि हीटर दिन-रात नियंत्रित तरीके से ही काम कर सके।