Role
את רצפת הייצור, סטייה של חצי מעלת בייק בטמפרטורה מספיקה כדי לפסול לוט מלא. אתה צופה בפרופיל הפוטורזיסט משתנה, רואה הטיית מימדים קריטיים מופיעה במדידה, ודווח התפוקה נופל ישירות על דוח המשמרת שלך.
תנורים מסורתיים ולוחות חימום חד-אזוריים מאלצים אותך לבחור בין תקציב תרמי לקצב ייצור. פיתחנו חימום אזורי כדי להפסיק להתפשר על כך.
מה שחשוב, טכנית
כל אזור משתמש במנורות הלוגן מבוקרות בנפרד עם תגובת NIR בגלים קצרים, כך שהוופר מגיע לנקודת היעד במהירות מבלי לחמם את תא החימום כולו. לאורך כל חלון התהליך, אחידות הטמפרטורה ברמת הוופר נשמרת בטווח של ±0.1°C, שזה בדיוק מה שנדרש לבייק רך וקשה חוזרים ונשנים על גבי ערימות ליתוגרפיה.
החומרה בנויה לחיים בחדר נקי: תואמת Class 1–100, מאומתת לייצור אפס חלקיקים דרך ניטור בזמן אמת, ומהונדסת למניעת השבתות לא מתוכננות. בקרת הטמפרטורה בין ריצות נשארת מדויקת, כך שזמני האישור קצרים וחלון התהליך רחב.
למה זה עובד בקו
בקרה אזורית מאפשרת תיקון של נקודות חמות וקרות בזמן אמת, כך שכל וופר מקבל את היסטוריית הטמפרטורה זהה — גם על פני לוחות חימום מרובי אזורים וכלי אשכול. התוצאה היא שליטה הדוקה יותר במימדים הקריטיים, פחות תיקונים מחדש, וביצועי הפוטורזיסט נשמרים יציבים לוט אחר לוט.
בנוסף, חוסכים באנרגיה כי כל אזור צורך רק את מה שהוא צריך, ומעברי תהליך מתבצעים מהר יותר כי אין צורך להמתין לייצוב מחודש של כל הבלוק. הקו ממשיך לפעול במקום לרדוף אחרי סטיות טמפרטורה.
מה שצריך לתכנן
חימום אזורי מודע לכלי, אך האינטגרציה תלויה בפלטפורמה ובמבנה המתכונים שלך. יש לתכנן חלון הפעלה קצר לכיוון כוח המנורות, מיפוי חיישנים ונעילות תפעוליות להתאמה לציוד הקיים.
יש עלייה מתונה בגודל המכשיר לעומת מחממים חד-אזוריים. התמורה היא בקרה תרמית שניתן לאשר פעם אחת ולהסתמך עליה משמרת אחר משמרת.