בחדרי הייצור, שינוי של חצי מעלה בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לשינוי בממדים החיוניים של החומר ברמה של ננומטרים – דבר שעלול להרוס שעות עבודה רבות בתהליך הליתוגרפיה. נורות האינפרא-אדום לעיבוד גרפן פותרות בעיה זו. הן מחליפות את החיממים הרגילים בחימום מהיר ויציב, מה שמאפשר שמירה על הטמפרטורה בטווח הרצוי.
מה חשוב מבחינה טכנית? יצרנו את הגוף הפולט אור באינפרא-אדום המבוסס על גרפן לצורך מהירות ואמינות – כך שהוא מגיב במהירות ובאופן צפוי. ניתן להשיג אחידות בטמפרטורה של ±0.1°C על פני כל שטח האפייה. המערכת יכולה לפעול בחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, מבלי לייצר חלקיקים או גזים, מה שמפחית את מספר הפגמים. הפלט של המערכת נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם שינוי של פחות מ-5% – כך שכל רכיב זוכה לאותה עוצמת אנרגיה, בכל סדרת ייצור. לאחר פתיחה/סגירה של הדלתות, הנורות מתאזנות שוב בתוך שניות, כך שהפרופילים של האפייה נשארים ללא שינוי.
למה זה מתאים לתהליך? בתהליך הליתוגרפיה, שלב האפייה קובע את מידת המתח בחומר, את רגישותו ואת הפרופיל שלו בקצוות. עם נורות אלו, ניתן לשלוט בצורה טובה יותר בתהליך האפייה, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון ומשפר את אחידות החומר. העלייה המהירה בטמפרטורה מקצרת את זמן העבודה, מבלי לפגוע בדיוק החום – והיעילות של המערכת מפחיתה את עלויות התפעול לכל רכיב. זו חלופה שתואמת את התקנים הבינלאומיים, כך שניתן להשתמש בה מיד במערכות הליתוגרפיה הקיימות – ללא צורך בהתאמות נוספות. כך ניתן לשמור על איכות התהליך ולשפר את התפוקה.
דברים שצריך לזכור: הפלט של הנורות תלוי בניקיון החלון של הקוורץ וברמת השטחיות של ההתקנה. יש לעקוב אחר המאמצים המומלצים ואחר נהלי הניקיון, כדי לשמור על אחידות הטמפרטורה של ±0.1°C. הגוף הפולט אור דורש מקור חשמל ייעודי ומד טמפרטורה מדויק, כדי לאפשר שליטה מדויקת – יש לתכנן את החיבורים מראש. לאחר שהמערכת מותקנת כראוי, היא יכולה לפעול 24/7, עם זמני תחזוקה צפויים, כך שזמני העצירה הבלתי צפויים יהיו קרובים לאפס.