Pourquoi nous passons au chauffage infrarouge pour le durcissement des semi-conducteurs
Si vous continuez à utiliser des méthodes de séchage basées sur des solvants ou des fours à convection volumineux, vous connaissez sûrement la pression exercée pour adopter des solutions plus écologiques. Il ne s’agit pas seulement de remplir les exigences liées aux normes environnementales – il s’agit aussi de réduire l’impact écologique réel de votre salle blanche.
C’est pourquoi nous avons opté pour un chauffage par infrarouges dans nos boîtiers de travail. Au lieu de chauffer tout l’air présent dans la pièce, le chauffage infrarouge envoie directement l’énergie vers la pièce à traiter. Pas besoin d’unités complexes de traitement de l’air. Pas de gaspillage d’électricité. Un impact carbone beaucoup plus faible.
Le avantage du chauffage par infrarouges
Le plus intéressant, c’est que les ondes infrarouges ne perturbent pas l’air. Elles pénètrent directement dans le matériau à traiter. Nous ajustons ces éléments de manière à ce qu’ils ciblent précisément les bandes d’absorption du matériau concerné. Ainsi, vous n’avez pas à chauffer les murs du boîtier de travail ni le gaz inerte qui y circule.
C’est rapide. Vraiment rapide. Comme la chaleur n’a pas besoin de voyager à travers un milieu, le temps nécessaire pour chauffer le matériau est minimisé.
Comment fonctionne cela à l’intérieur du boîtier de travail
Lorsque vous travaillez dans un boîtier de travail, la dernière chose que vous souhaitez, c’est une contamination. Nous utilisons donc des enveloppes en quartz de haute pureté pour éviter que les émissions gazeuses ne gâchent le processus de traitement.
Généralement, nous utilisons des émetteurs à ondes courtes ou moyennes. Pourquoi ? Parce que nous voulons que la chaleur atteigne directement la pièce à traiter, sans chauffer toute la pièce.
Mais il faut faire attention à la densité de puissance. Bien sûr, un émetteur à forte puissance permet de durcir le matériau en un instant, mais cela exerce une grande pression sur l’alimentation électrique. De plus, si la lampe est trop proche de la pièce à traiter, des points chauds localisés peuvent apparaître. Il faut donc trouver le bon point de focale, sinon les wafer risquent d’être endommagés.
Les compromis
Le chauffage par infrarouges est efficace et rapide, mais il présente un inconvénient : il nécessite une ligne de vision claire. Si la pièce à traiter possède des rainures profondes ou une forme 3D complexe, des ombres apparaîtront. Vous ne pouvez pas simplement placer une lampe infrarouge là-dedans et espérer un traitement parfaitement uniforme.
Pour résoudre ce problème, nous utilisons généralement des réflecteurs plaqués or. Ils capturent l’énergie qui serait sinon perdue et la renvoient directement sur la pièce à traiter. Simple, mais efficace.