دریافت دادههای حرارتی صحیح در کارخانههای تولید
اگر قصد ساخت یک کارخانه «هوشمند» را دارید، احتمالاً متوجه شدهاید که فقط استفاده از نرمافزارهای پیشرفته کافی نیست. نمیتوانید فقط یک پنل کنترل خریداری کنید و کار را تمام کنید؛ بلکه به سختافزارهایی نیاز دارید که بتوانند با دادهها ارتباط برقرار کنند.
در مورد گرم کردن نیمههادیها، مشکل اصلی معمولاً خود هیتر نیست؛ بلکه مسئله مربوط به چرخه بازخورد است. به همین دلیل از سیستمهای مادون قرمز با بازدهی بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این سیستمها به اندازه کافی سریع عمل میکنند تا بتوانند با خطوط تولید دیجیتال همگام شوند.
مشکلات مربوط به بازخورد حرارتی
حفظ یکنواختی دمای ویفرها کاری پیچیده است. برای انجام این کار، از ترموکپلهای خاصی همراه با هیترهای مادون قرمز استفاده میکنیم.
اما مشکل اینجاست که فقط اندازهگیری دما کافی نیست؛ به زمان پاسخگویی سنسور نیز نیاز داریم. اگر سنسور شما کند عمل کند، چرخه PID دچار اختلال خواهد شد؛ در نتیجه، فشار حرارتی بر روی سیلیکون ایجاد میشود و در نهایت مواد تولید شده هدر میروند. ما سنسورهایی طراحی کردهایم که بتوانند در برابر گرمای شدید مادون قرمز مقاومت کنند.
استفاده مؤثر از دادهها
هدف، داشتن یک تصویر دیجیتالی از فرآیند گرم کردن است. ما این ترموکپلها را به سیستمهای دیجیتالی متصل میکنیم تا بتوانید پروفایلهای حرارتی را در لحظه مشاهده کنید.
دیگر نیازی نیست به شاخصهای آنالوگ نگاه کنید؛ همه چیز به صورت سیگنالهای دیجیتالی منتقل میشود و به PLC شما ارسال میگردد. این کار به شما نمایی واضح از نحوه پخش گرما در سطح سوبسترا میدهد.
مزایا و معایب
دادههای با سرعت بالا دارای معایبی نیز هستند.
هرچه ترموکپل حساستر باشد، بیشتر در برابر نویز الکتریکی ناشی از منابع تغذیه مادون قرمز آسیب میبیند. اگر از کابلهای محافظتشده استفاده نکنید و اتصالات را به درستی انجام ندهید، نویزهای الکتریکی وارد سیگنالها خواهد شد.
و میدانید چه اتفاقی میافتد؟ دادههای «هوشمند» شما تبدیل به نویزهای تصادفی خواهند شد.
ما این سیستمها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین سیستمهای قدیمی شوند؛ شما نیازی ندارید کل سیستم گرمایشی خود را تعویض کنید تا بتوانید از دادههای دیجیتال استفاده کنید. کار بسیار ساده است.