Hören Sie auf, zuzulassen, dass Ihre Heizgeräte die Qualität Ihrer MEMS-Chips beeinträchtigen.
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie sicherlich das Problem von kaputten Chargen. Sie tun alles richtig – doch dann landen ein paar mikroskopisch kleine Partikel oder Gase aus billigen Heizgeräten auf den MEMS-Sensoren. Dadurch sinkt die Produktivität drastisch.
Das ist frustrierend. Deshalb haben wir auf hochreinen synthetischen Quarz-IR-Lampen umgestellt. Anstelle von Widerstandsheizern, die abbrechen können, oder Lampen, die Gase abgeben, nutzen diese Lampen rein strahlende Wärme. Es kommt zu keinem physischen Kontakt – und es entstehen auch keine Staubpartikel. So wird die Trocknung schnell und effektiv abgewickelt.
Warum Quarz so wichtig ist
Wir verwenden nicht irgendeinen Glasstoff – sondern hochreinen geschmolzenen Siliziumdioxid. Dieses Material ist sehr widerstandsfähig und kann extreme Temperaturschwankungen ohne Probleme überstehen. Zudem muss man sich keine Sorgen darüber machen, dass Metallionen in den Prozess eindringen könnten.
Der eigentliche Vorteil liegt im Kurzwellen-IR-Spektrum: Die Energie trägt die Flüssigkeitsschichten auf den Wafern weg – und zwar sehr schnell.
Außerdem haben wir alle unnötigen Bestandteile entfernt: Keine organischen Bindemittel, keine billigen Beschichtungen, die bei den ersten Betriebszyklen verbrennen. Sobald man den Schalter einschaltet, wird gleichmäßige, zuverlässige Wärme erzeugt.
Integration in Ihre Anlage
Diese Geräte sind kompakt – perfekt für begrenzte Platzverhältnisse. Da sie viel Leistung in einem kleinen Gehäuse unterbringen, können sie fast sofort mit der Arbeit beginnen.
Aber Achtung: So viel Wärme an einem Ort kann intensiv sein. Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlfans und Kühlmittel. Sie möchten schließlich nicht, dass die umliegenden Elektronikkomponenten durch die schnelle Trocknung der Wafer beschädigt werden.
Einfachheit und Sauberkeit
In einem Reinraum der Klasse 100 ist „ausreichend sauber“ bereits eine Katastrophe.
Wir halten die Konstruktion einfach – nur reiner Quarz und Wolfram. Keine flüchtigen Farbstoffe, keine klebrigen Klebstoffe. Wir haben die Quarzkapsel fest verschlossen, damit das Filament nicht oxidiert. Dadurch müssen Sie sich keine Sorgen darüber machen, dass die Lampe platzt und mikroskopisch kleine Glassplitter auf die Wafern gelangen.
Wenn Sie die Heizgeräte als Quelle von Kontamination ausschließen, wird Ihr Leben viel einfacher – und die Qualität Ihrer MEMS-Chips bleibt auf einem guten Niveau.