Na lince není odchylka 0,5 °C v měkkém pečení „malou chybou“. Je to zmetková dávka. V procesu zpracování fotorezistů nemá tepelná nestabilita žádný...

Na výrobní lince profil lampy s driftováním nezpůsobí poplach. Projevuje se jako hotspot o velikosti 0,3 °C přes celý wafer, pomalý posun kritické...